檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Sendren Sheng-Dong Xu".ecommittee (精準) and year="105"
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本研究的目的是利用氣壓式夾鉗對碟盤所產生的摩擦阻力再透過減速機、鋼索輪鼓等產生扭距力的模擬負載,進行具模擬負載控制系統之研發,並應用於捲揚機性能測試與驗證。 本系統所產生穩定的模擬負載,其控制方式是…
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本論文將粒子群多目標最佳化(MOPSO)演算法整合到光源和光罩同步優化(SMO)過程中,以增強極紫外(EUV)光刻成像的性能。本研究開發了同步處理光源和光罩圖案的方法。對於自由形式的光源結構基於像素…